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Haohai Metal Meterials Co., Ltd.

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Punto de pulverización de ZnO al azar (AZO)

Es bien sabido que la película delgada de ZnO (AZO) dopada con aluminio tiene una alta transmitancia en la región visible, y una baja resistividad, y su banda de banda óptica se puede controlar mediante el contenido de Al. Las películas de AZO tienen aplicaciones potenciales en células solares, recubrimientos antiestáticos, dispositivos de visualización en estado sólido, recubrimientos ópticos, calentadores, descongeladores, etc. En comparación con el óxido de indio, ZnO tiene la ventaja de que las materias primas son más baratas y no tóxicas. Particularmente, la película AZO es más estable. Por lo tanto, AZO es uno de los mejores sustitutos de ITO que utiliza una película conductora transparente (TCO).

Detalles

AZO Sputtering Target, alta calidad, unión, giratorio, cilíndrico, recto, plano, catódico ARC, recubrimiento PVD, deposición de película delgada, Magnetron AZO Sputtering objetivos fabricante y proveedor


AZO SPUTTERING TARGET


Es bien sabido que la película delgada de ZnO (AZO) dopada con aluminio tiene una alta transmitancia en la región visible, y una baja resistividad, y su banda de banda óptica se puede controlar mediante el contenido de Al. Las películas de AZO tienen aplicaciones potenciales en células solares, recubrimientos antiestáticos, dispositivos de visualización en estado sólido, recubrimientos ópticos, calentadores, descongeladores, etc. En comparación con el óxido de indio, ZnO tiene la ventaja de que las materias primas son más baratas y no tóxicas. Particularmente, la película AZO es más estable. Por lo tanto, AZO es uno de los mejores sustitutos de ITO que utiliza una película conductora transparente (TCO).


Nuestro objetivo Al-dopado ZnO (AZO) se preparó mediante prensado en caliente utilizando polvo ZnO y Al 2 O 3 en relación de masa de 98: 2 con alta densidad, distribución mínima de poro, baja resistividad, microestructura homogénea, tamaños de grano fino y excelente condición superficial .


Los objetivos de bombardeo de AZO de Haohai incluyen los objetivos de bombardeo rotativo AZO, los objetivos de bombardeo planificado AZO y los objetivos catódicos de AZO.




AZO giratorio (rotativo, cilíndrico) Sputtering Target


Rango de fabricación

Conjuntos de varios segmentos unidos a un tubo de refuerzo de metal

Diámetro interno Estándar 125 mm

Otros diámetros bajo pedido

Grosor del segmento ≤22 mm

Estándares 9, 14 y 18 mm

Longitud máxima 4000 mm

Longitud del segmento AZO ≤254 mm

Segmento brecha 0.4 mm ± 0.15 mm


- Los objetivos rotativos AZO se fabrican mediante la unión de segmentos AZO sinterizados a un tubo de soporte de metal utilizando las tecnologías más avanzadas.

- Los tubos de soporte para los objetivos AZO son proporcionados por Haohai Metal o por el fabricante y pueden reutilizarse.




Objetivo de bombardeo planar AZO


Rango de fabricación

Conjuntos de mosaicos múltiples unidos a una placa de soporte metálica

Longitud / azulejo ≤ 300 mm

Ancho / azulejo ≤ 128 mm

Grosor ≤ 22 mm

Segmento de segmento ± 03 mm ± 0.1 mm

Tolerancia por longitud,

Ancho, espesor ± 0.2 mm




Datos físicos

Grado de alta densidad ≥5.30 g / cm 3

Resist Resistividad eléctrica a 20 ℃ <1>

Aspecto amarillo / verdoso

Los datos físicos se basan en AZO con una relación de 98/2% en peso y un espesor de 14 mm.


Composición Chemecal

Zno / Al 2 O 3 de alta pureza en una proporción de 98/ 2 % en peso o 99/1% en peso e i-ZnO de alta pureza.

Otras relaciones están disponibles bajo petición.

Pureza> 3N5


Propiedades microestructurales

La Imagen 1 muestra la microestructura homogénea con un tamaño medio de grano de 6 micras.

La Imagen 2 muestra que el Al 2 O 3 está en solución sólida dentro de la matriz de ZnO: sin fase Al 2 O 3 .


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Las ventajas del objetivo AZO de Haohai


✦ propiedades mecánicas óptimas

Los objetivos de densidad completa con propiedades mecánicas muy mejoradas y la estabilidad mejorada del plasma proporcionan una deposición de capa uniforme.


✦ Vida útil mejorada del objetivo

Los tamaños de grano optimizados y la microestructura homogénea dan como resultado un equilibrio deseable entre las propiedades mecánicas y térmicas, lo que permite una dispersión uniforme del calor y evita el estrés térmico, alargando la vida útil del objetivo.


✦ La alta eficiencia de pulverización ahorra tiempo y costo

Los objetivos AZO de alta densidad de Haohai resultan en velocidades de deposición más rápidas, menos tiempo de pulverización y menores costos de producción. La alta integridad mecánica con excelentes propiedades térmicas también permite que se pulverice más material de cada objetivo.



Solicitud

AZO se utiliza para la pulverización de magnetrón DC (pulsado) de capas de óxido conductor transparente (TCO) con alto índice de refracción en sustratos tales como vidrio, polímero y láminas metálicas, etc.


Las láminas delgadas basadas en AZO son transparentes, eléctricamente conductoras y se utilizan principalmente en las industrias de vidrio fotovoltaico y arquitectónico de película delgada.


Displays electrónicos

Paneles de pantalla táctil

Diodos emisores de luz (LED)

Celdas fotovoltaicas



Haohai Metal (Haohai Titanium), equipado con una fábrica profesional, es uno de los principales fabricantes y proveedores de diversos materiales y tamaños de objetivos de pulverización catódica. Nuestro objetivo de bombardeo AZO, con alta pureza, incluye objetivos giratorios (rotativos) de unión, objetivos planar (rectángulo, disco), que se utilizan ampliamente en el revestimiento de pvd para la tecnología de deposición de película delgada. Bienvenido a comprar y vender al por mayor nuestros precios bajos, altas tasas de uso, alta pureza y objetivos AZO de alta calidad.

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