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Desengrasar y limpiar blancos de sputtering


Desengrasar y limpiar blancos de dispersión


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El tipo de desengrase de un blanco de pulverización catódica es necesario por la naturaleza del proceso de fabricación. Cualquier objetivo de pulverización catódica requerirá un acabado mecánico, es decir, mecanizado o rectificado, hasta obtener unas dimensiones uniformes y acabadas después de que el trozo de material haya sido moldeado al vacío o prensado en caliente. Es este acabado mecánico el que puede introducir las grasas que deben eliminarse antes de que el material sea compatible con un entorno de alto vacío.

 

El método estándar para eliminar la contaminación de la superficie es limpiar con un material sin pelusa que haya sido empapado en alcohol isopropílico.

 

En casos especiales de materiales extremadamente reactivos (p. Ej., Tierras raras, metales alcalinos), no se recomienda el alcohol isopropílico. En ese caso, se ha descubierto que el diluyente de pintura es satisfactorio para eliminar los revestimientos protectores de aceite que a menudo cubren estos materiales (disponibles comercialmente en tiendas minoristas como Sears).

 

Ciertos materiales de evaporación pueden moldearse directamente sin necesidad de mecanizado o molienda después. ACI Alloys puede fabricar una variedad de materiales de esta manera: especialmente, metales preciosos, materiales refractarios y otros materiales no reactivos.

 

Otros elementos y aleaciones, especialmente Au / Be, aleaciones con Al, aleaciones con Cr y tierras raras, desarrollarán una capa de óxido en el proceso de fusión, y no son adecuadas para este método de fabricación. Sus superficies deben limpiarse abrasivamente para eliminar sus óxidos.

 

OTROS MÉTODOS: RESULTADOS DE BÚSQUEDAS WEB PARA DESENGRASAR UN SUSTRATO

 

1. Aplicación de rociado con una cabina Alliance Aquamate SF

 

2. Como el lantano es fácilmente oxidable, se empapa en aceite (parafina líquida). Por lo tanto, la acetona se eliminó por desengrase o, según sea necesario, por limpieza ultrasónica.

 

3. Ultrasonicamente en acetona

 

4. Desengrasar en un agente tensioactivo alcalino caliente (40 ° C)

 

5. Las muestras se limpiaron con chorro de arena y se desengrasaron mediante limpieza ultrasónica en acetona

 

6. Los sustratos de Si de calidad electrónica se limpiaron en acetona y metanol en un baño ultrasónico. A continuación, los sustratos se sometieron a un desengrase por vapor en alcohol isopropílico y se secaron en una atmósfera caliente del mismo.

 

7. Luego los sustratos fueron sometidos a desengrasado al vapor en alcohol isopropílico


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