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Pautas y precauciones para el uso de objetivos metálicos de esputo

Pautas y precauciones para el uso de blancos metálicos de esputo

Primero, preparación de pulverización

Es muy importante mantener limpia la cámara de vacío, especialmente el sistema de pulverización catódica. Cualquier residuo formado por aceite lubricante y polvo y pre-revestimiento recogerá vapor de agua y otros contaminantes, afectando directamente el grado de vacío para obtener y aumentar la posibilidad de falla de la película. Objetivos de chisporroteo de metal El cortocircuito o el arco de inicio del objetivo, la rugosidad de la superficie de la película y las impurezas químicas a menudo se superan debido a la sala de pulverización sucia, la pistola de pulverización y el objetivo causado. Para mantener la composición de las características del recubrimiento, el gas de pulverización catódica (argón u oxígeno) debe estar limpio y seco, y la cámara de pulverización en el sustrato después de la necesidad de extraer el aire para lograr el proceso de vacío requerido. Los escudos de área oscura, las paredes de la cavidad y las superficies adyacentes también deben mantenerse limpios. En la limpieza de la cámara de vacío, recomendamos el uso del método de granallado de bola de vidrio para tratar con partes de suciedad al mismo tiempo con aire comprimido para eliminar la cavidad alrededor del residuo preescritura, y luego papel de lija impregnado de alúmina suavemente en la superficie del pulido Después de pulir la gasa, enjuague con alcohol, Metal Sputtering Targets acetona y agua desionizada, y recomendar el uso de aspiradora industrial para la limpieza auxiliar.

PRECAUCIÓN: cuando utilice el objetivo, mantenga guantes de protección limpios y sin protección y evite el contacto directo con el objetivo.

En segundo lugar, el objetivo limpio

El objetivo de la limpieza objetivo es eliminar el polvo o la suciedad que pueda estar presente en la superficie del objetivo.

Los objetivos de metal se pueden limpiar por cuatro pasos,

El primer paso en la acetona empapada en el paño suave sin pelusa limpia;

El segundo paso es similar al primer paso con alcohol;

El tercer paso es lavar con agua desionizada. Después de lavar con agua desionizada, el objetivo se colocó en un horno y se secó a 100 ° C durante 30 minutos.

Limpieza de óxido y cerámica con un "paño sin pelusa".

Paso 4 Después de eliminar el área sucia, los objetivos de pulverización de metal enjuagan el objetivo con argón a alta presión y baja humedad para eliminar todas las impurezas que pueden causar arcos en el sistema de pulverización

En tercer lugar, la instalación de destino

Lo más importante a tener en cuenta durante la instalación del objetivo es garantizar que se establece una buena conexión térmica entre el objetivo y la pared de enfriamiento de la pistola de pulverización. Si la rigidez de la pared de enfriamiento es grave o la flexión de la placa posterior es severa, se produce agrietamiento o doblez cuando se monta el objetivo, y la conductividad térmica del objetivo posterior para el objetivo se verá muy afectada. calor en el proceso de pulverización catódica La distribución eventualmente dará como resultado el agrietamiento del objetivo o fuera del objetivo

Para garantizar una conductividad térmica suficiente, se puede rellenar una capa de grafito entre la pared de enfriamiento del cátodo y el objetivo. Asegúrese de verificar cuidadosamente y aclarar la planicidad de la pared de enfriamiento de la pistola de pulverización catódica utilizada mientras se asegura que la junta tórica esté siempre en posición.

Debido al grado de limpieza del agua de refrigeración utilizada y la posible contaminación del equipo durante la operación del equipo, es necesario inspeccionar y limpiar el tanque de agua de enfriamiento del cátodo cuando se instala el objetivo para garantizar el flujo suave del el agua de refrigeración y la entrada y la salida no serán bloqueadas.

Parte del diseño del cátodo es más pequeño con la separación del ánodo, objetivos metálicos de dispersión, por lo que la instalación del objetivo debe garantizar que el cátodo y el ánodo no estén en contacto con el conductor. De lo contrario, producirá un cortocircuito.

Consulte las instrucciones del fabricante del equipo para obtener información sobre cómo instalar correctamente el objetivo. Si no tiene esta información en el manual del usuario, intente seguir las recomendaciones proporcionadas. Al apretar el accesorio objetivo, primero apriete un perno con la mano, y luego apriete otro perno a mano en la diagonal, objetivos metálicos para difuminar, así que repítalo hasta después de instalar todos los pernos, y luego apriete la herramienta.


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